1、干涉法
干涉法是利用光波干涉原理來測量表面粗糙度。
2、針描法
針描法是利用觸針直接在被測表面上輕輕劃過，從而測出表面粗糙度的Ra值。
3、比較法
比較法是車間常用的方法。將被測表面對照粗糙度樣板，用肉眼判斷或借助于放大鏡、比較顯微鏡比較；也可用手摸，指甲劃動的感覺來判斷被加工表面的粗糙度。此法一般用于粗糙度參數較大的近似評定。
4、光切法
表面粗糙度儀的光切法是利用"光切原理"來測量表面粗糙度。
測量工件表面粗糙度時，將傳感器放在工件被測表面上，由儀器內部的驅動機構帶動傳感器沿被測表面做等速滑行，傳感器通過內置的銳利觸針感受被測表面的粗糙度，此時工件被測表面的粗糙度引起觸針產生位移，該位移使傳感器電感線圈的電感量發生變化，從而在相敏整流器的輸出端產生與被測表面粗糙度成比例的模擬信號，該信號經過放大及電平轉換之后進入數據采集系統，DSP芯片將采集的數據進行數字濾波和參數計算，測量結果在液晶顯示器上讀出，也可在打印機上輸出，還可以與PC機進行通訊。
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